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電子制造特別是半導體、集成電路等生產中，產品的微小結構對空氣中的灰塵、微粒非常敏感。即使是微米級的顆粒物，也可能對電子元件的功能和性能造成影響。因此，潔凈室必須保持一個極低的顆粒物濃度，以防止污染產品。

薄膜材料無塵車間塵埃粒子在線監測系統是一款專門應用于潔凈環境的潔凈度監控和微粒子計數檢測等領域的精密測試儀器。可視化設計使得操作者能夠便捷地進行校準和調試，極大地提升了使用體驗。其次，儀器在穩定性方面表現出色，能夠在長時間運行中保持穩定的測量性能。此外，測量精度高也是其一大亮點，能夠為用戶提供可靠的數據支持。在體積和重量方面，該儀器設計緊湊，體積小巧，重量輕便，便于攜帶和安裝，不會給使用者帶來額外的負擔。

工作原理

基于光散射原理作為其核心理論基礎，這一原理利用光與塵埃粒子相互作用時產生的散射現象，空氣中的塵埃粒子在光照射下發生散射，散射光的強度隨粒子的表面積增加而增大，根據測定的散射光強度推知粒子的大小。

結合良好的光電傳感技術，融合高靈敏度的光電探測器和精密的信號處理算法，能夠高效、準確地實現對塵埃粒子粒徑的精確檢測。同時，該技術還能夠對粒子數量進行準確計數，通過高精度的計數算法和實時數據處理能力，確保在復雜環境中也能準確統計塵埃粒子的數量。

薄膜材料無塵車間塵埃粒子在線監測系統特點

高精度傳感器，計數準確，符合JJF1190-2008規范；

支持拓展成0.3um、0.5um、1um 、3um、5um、10um 6個粒徑檔監測；

2.4寸智能觸摸屏，快速響應、人機交互，實時顯示監測數據；

支持根據要求進行定制化顯示界面；

儀器內置真空源，震動小、噪音低、性能穩定；

支持在屏幕上直接自行設定儀器地址，便于現場替換；

屏幕數據報警，帶流量傳感器實時監測流量并對流量進行實時自調節；

采用日本進口半導體激光源，壽命大于30000小時（需每年標定）；

RS485通訊，支持ModbusRTU協議，支持定制化通訊協議；

可增加無線天線，升級為無線傳輸方式（選配）；

支持智能物聯，遠程啟動，提高潔凈度監測質量。

產品參數